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一、二次真空泵配套

Sekundärpumpen benötigen eine Primärpumpe,嗯sie zunächst für den Betrieb und/oder den Dauerbetrieb " vorpumpen " zu lassen。我们的美好生活,死去für死去richtige Kombination oder " Abstimmung " von Primär- und Sekundärpumpen zu berücksichtigen信德,嗯eine sichere and optimierte Leistung zu gewährleisten。

Warum ist es wicichtig, die richtige Pumpenkombination auszuwählen?

Die Folgen einer falschen Wahl können gravierend sein - von einer " ausgefallenen " Diffusionspumpe (und starker Ölverunreinigung) bis hin zu Überhitzung einer turbomolularpumpe。

我的福尔根登werden die entprechenden Anforderungen anhand von gängigen Beispielen beschrieben。

Wofür werden Primär- und Sekundärpumpen verwendet?

Eine primäre真空泵(PP) entlüftet bei atmosphärischen Druck。大足gehören ölabgedichtete Drehschieber- (OSRV), Membran-, Scroll-, mehrstufige Wälzkolben-, Kolben-, Schraub- und Flüssigkeitsringpumpen。

Sekundärpumpen (SP) erfordern eine anfängliche Evakuierung durch Primär- und manchmal andere Sekundärpumpen auf den erforderlichen Druck vor dem Betrieb。Zum Beispiel Öldiffusionspumpen (ODP), turbomolularpumpen (TMP), Dampfverstärker (VB), mechanische Verstärker (MB),离子泵(IGP),钛升华泵(TSP), nicht verdampfbare Getterpumpen (NEG), kryogene,分子Schlepp- und再生泵。

In einigen Fällen sind für den Dauerbetrieb unterstützende Vorvakuumpumpen erforderlich。模具分为ODP型、TMP型和vb型。

Faktoren, die bei der Abstimmung von Primär- und Sekundärpumpen zu berücksichtigen sind

嗯eine Primärpumpe und eine Sekundärpumpe aufeinander abzustimmen, müssen mehere Punkte berücksichtigt werden:

  • Anfängliche Abpumpzeit durch die Primärpumpe bis zu einem Punkt, an dem die Sekundärpumpe den Pumpprozess“übernimmt”。die ist besonders wicktig, wenn die Sekundärpumpe zur gleichen Zeit wie die Primärpumpe startund ein bestimmter Druck innerhalb eestimmten Zeit erreicht werden muss, um eine Verzögerung der Sekundärpumpe zu verhindern。
  • Anfänglicher " Druckstoß " des Gasstroms und Druckspitze beim Start der Sekundärpumpe。死得很惨nXDS15i-Scrollpumpedie Primärpumpe und einenEXT300Ddie sekundäre Turbomolekularpumpe darstellt;der Spitzendurchsatz entspricht dem Druckanstieg, wenn die Sekundärpumpe (nEXT300D) das Pumpen“übernimmt”。
Beispiel für eine Vakuumpumpen-Kombination

模具würde zu einem entsprechenden Anstieg auf ca. 1,5 mbar in der Primärpumpe führen, wie unten dargestellt:

Beispiel für den Durchsatz der Vakuumpumpen-Kombination

  • Der maximale Vordruck (MBP)/kritische Vordruck (CBP) darf nicht überschritten werden。达杜尔奇大鸟。Die Primärpumpe muss bei dem erforderlichen Vordruck eine ausreichenddrehzahlleistung aufweisen, anstatt von der Spitzen-/ nenndrehhzahl der Primärpumpe auszugehen。
  • Der MBP-Wert kann vom Hersteller für德国德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语德语。
  • Sauberkeit (ist eine trockenlaufende Pumpe erforderlich?)
  • Muss die Primärpumpe in die Sekundärpumpe integriert werden können?
  • ist die typische Restatmosphäre der Primärpumpe - insbesondere in Kombination mit TMP im Hinblick auf predichtung ?死的是它,达beispielsweise das相对的niedrige Verdichtungsverhältnis einer TMP für H2ihren erreichbaren Enddruck begrenzen kann, wenn der H2-《意义论》中的partialdruck。