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爱德华兹STP磁悬浮涡轮泵

STP Maglev-Turbomolekularpumpen

Vibrationsarm和wartungsfrei

超级Prozesskammerlosungen

Unsere wartungsfreie Maglev-Turbomolekularpumpenreihe STP setzt Maßstäbe für konsistente und zuverlässige Leistung。Der Rotor ist vollständig magnetgelagert - damit sind diese Pumpen die erste Wahl für Anwendungen, die hohe Verfügbarkeit und kohlenwasserstofffreies Pumpen bei minimalem wartungsauwand und sehr geringen Vibrationen erfordern。

Fortschrittliche Hochdurchsatz-Serie

Die Advanced-Reihe bietet hohen Durchsatz und ist perfekt für Ihre Ätz- und CVD-Prozesse in der Halbleiterindustrie geeignet:

  • Kleine Stellflache
  • Durchsatzleistungen von 300l /s bis 4.500 l/s
  • Durchsatz bis zu 6 slm und verbesserte H2-, N2- und Ar-Leistung

Diese All-in-One-Turbopumpenlösung macht das sonst übliche Anschlusskabel und Gestell überflüssig:

  • Reduzierte Stellfläche, Einsparung wertvollen Fabrikraums, sparen bei Installationszeit and -kosten
  • 我的家乡,我的家乡,我的家乡。
  • Durchsatzleistungen von 300l /s bis 4.500 l/s

Baureihe Die Baureihe für超真空设备unübertroffene Zuverlässigkeit, Leistung, Reinheit und erstklassig niedrige Schwingungen:

  • 监狱监狱überflüssig。
  • 控制器在halber Einbauhöhe mit自动调优和erweiterten诊断funktionen
  • Geschwindigkeiten von 300 l/s bis 1.000 l/s und < 10-10 mbar Enddruck, CF-Flansch
  • 模具“C”-版本für raueste Verfahrensbedingungen ist ebenfalls erhältlich。

Die vibrationsarme ultra - vacuum - variante umfast alle Merkmale der ultra - vacuum - baureihe sowie einen integrerten Schwingungsdämpfer, der Ihnen eine extreme geringe振动garantiert。

Kontaktieren Sie uns,嗯mehr zu erfahren

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