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爱德华兹CTI-Cryogenics板上®IS 320fxvs低温泵

On-Board®IS 320F XVS crypump与Paul Amundsen的问答

问:嗨,保罗——首先,你能给我们介绍一下你自己和你在爱德华兹的经历吗?

答:我目前是爱德华兹低温产品的战略产品经理。我在低温/真空行业工作了40多年;我在低温真空泵领域拥有多项专利,并获得麻省大学电气工程学士学位。

问:过去的18个月对我们的行业来说是艰难的。在新On-Board®的开发和生产过程中,最大的挑战是什么320fxvs低温泵,你是如何克服它们的?

答:像大多数行业一样,我们面临着学习如何有效地远程工作的问题。开发产品是一个非常需要协作的过程,远程开发是一个挑战。我们能够通过使用最新的在线协作会议平台来克服这个问题,这是推动我们的产品开发和产品发布向前发展的工具。

问:什么是On-Board®320fxvs Cryopump添加到现有的范围,它如何提高客户的生产力?威兼希尔 中国

保罗·阿蒙森

保罗·阿蒙森

答:我们的新低温泵的设计,以保持稳定一致的真空性能之间的再生和泵的使用寿命。提供稳定的工艺真空与提高工艺收率是一致的。再加上最高的抽氢速度,使其成为最苛刻的离子植入应用的完美选择。爱德华兹以设计市场上性能最高、最可靠的植入低温泵而闻名,我认为这个新产品证明了这一点。

问:它在用户控制方面表现如何?

答:这个答案的关键在于低温泵的名字:代表“智能系统”。控制系统通过利用实时自适应控制来优化低温泵的真空性能,以响应不断变化的过程条件,从而确保过程质量和真空一致性。

爱德华兹以设计市场上性能最高、最可靠的植入低温泵而闻名,我认为这个新产品证明了这一点。

保罗·阿蒙森

问:你能给我们介绍一下它的兼容性吗?

A: On-Board®320F XVS是机载is低温泵系统家族的最新产品。这种新的低温泵设计为100%兼容所有现有的爱德华兹CTI-Cryogenics On-Board®低温泵,控制器和压缩机。

问:最后,请您介绍一下On-Board®320fxvs Cryopump的环境影响?

答:爱德华兹致力于提供减少对环境影响的产品,以及On-Board®320fxvs低温泵也不例外。通过使用我们的新低温泵和机载变速氦气压缩机,与使用固定速度氦气压缩机相比,客户可以期望减少高达44%的能耗。

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