全球| 2022年12月1日| 15:00
Edwards是全球半导体行业真空和衰减产品、服务和解决方案的领先供应商，今天宣布发布其新的氢气回收系统(HRS)，用于需要大量连续氢气流的EUV光刻等应用。
HRS集成了爱德华兹的真空泵和消减系统，以回收和再利用大部分(至少70%)的氢气。该系统降低了氢的净消耗和成本，降低了供应中断带来的财务和工艺风险以及氢运输和分配的安全风险，并降低了EUV光刻的总能源消耗和碳足迹。
Edwards新兴技术副总裁Chris Bailey表示:“EUV光刻在所有先进的节点工艺中都是必不可少的。“它使用大量氢气。此外，随着现有工具性能的升级，以及每天都有更多工具上线，现有工具的氢消耗也在增加。回收氢气使制造商能够大幅降低供应需求，降低运营成本和易受干扰的脆弱性。同样重要的是，它减少了EUV光刻工艺的碳足迹和能源消耗。”
EUV系统在低压下使用高流量的氢气来防止颗粒污染物沉积在用于塑造和聚焦EUV照明的镜子的关键表面上。HRS集成了从光刻系统中提取氢气的真空和消减系统。它将气体从EUV源模块引导到氢气回收堆栈，并将气体从扫描模块(一个更小的流量，可能包含从光刻胶中排出的污染物)引导到减排系统。在回收堆栈中，提取的气体使用电化学泵送和膜过滤相结合的工艺进行净化，以回收高纯氢气。HRS在将气体返回EUV系统之前确认气体的纯度，并包括故障安全的气体流重定向，以适应HRS或减排系统状态的变化。
Bailey继续说:“这个系统是一个十年发展计划的结果，其中包括与我们在IMEC的合作伙伴密切合作。它体现了我们“通过合作实现可持续发展”的承诺。感谢我们在IMEC的合作伙伴做出的巨大贡献。”
IMEC晶圆厂工程副总裁Vincent Nollet表示:“HRS已安装在我们的300mm试制线工艺中，并在我们的可持续半导体技术和系统计划框架内进行了验证。实验证明了其回收氢气的能力，以及降低EUV工艺净能源消耗和范围3排放的能力。”
虽然氢是宇宙中最丰富的元素，但大多数商业供应的氢是通过天然气的蒸汽改造产生的，这一过程消耗大量的能量并排放二氧化碳——既直接来自于改造和随后的水气转换反应，也间接来自于产生高温/高压蒸汽所需的动力。减少净氢消耗可以减少EUV工艺的碳足迹。减少需要减氢的氢的数量，通过减少减氢过程消耗的能量和碳排放，进一步增加了这种好处。
