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Soluciones integradas

Maximización de la disposbilidad sub-fab

为客户提供高效的服务

通过不断的运动来实现世界连接,理解最大限度地提高生产力的必要性,并为新客户提供服务。Para ello, garantizamos que su tecnología es la primemermerdo y, almismo timempo, seguimos esforzándonos通过减少问题来减少损失,例如,中间环境问题和生产过程问题,例如,fabricación。

Creemos que la major solución para nuestros客户通过enfoque integrado,而solución que analice客户通过vacío con base en nueststra experiencia global,为您提供所需的气体排放管理服务。在el centro de nuestra innovación、nuestra solución集成系统中,允许为新能源客户提供新能源产品和服务,为主要生产和服务提供新能源产品和服务,为garantías中等环境提供安全保障。

EUV

El innovador proceso de litografía紫外线极端,tamamicandconocida como EUVL或EUV, es la tecnología de litografía de última generación que los principales fabricantes de semiconductors planean utiliteas en la fabricación de los components más avanzados de los semiconductors。Esta tecnología tiene una importancia histórica, ya que permit la extensión continua de la Ley de Moore。El desafío inmediato de la EUV是El tiempo de actividad de la herramienta。Nuestra solución sub-fab completamente integrada traer beneficios importantes a la fabricación de litografía EUV。Con más de 10 años de hacer possible la EUV desde una perspectiva sub-fab, nuestras innovadoras soluciones tecnológicas líderes y nuestras capacidades de sistematización continúan esforzándose para permitir el máximo time empo de actividad and el proces de EUV de rendimiento dentro de entorno seguro y controlado。

全面的改革是困难的

  • Gestión de riesgos

利用我们的新经验,为我们的客户提供全球服务

  • Conservación de la energía

Flujos más altos no son sinónimo de herramientas más grandes

Reciclaje / reutilizacion

  • Desincrustacion

能力与经验相结合,满足了客户的需求。Los flujos加倍没有隐含的双重el tamaño del系统。Empresa在产品、设备、客户、服务方面的经验丰富,并在全球范围内积累经验

爱德华兹极紫外系统

爱德华兹极紫外系统

EZENITH ofrece una cartera avanzada de sistema, proporcionan soluciones totalmente integradas en el控制气体逃脱y vacio para所有sus aplicaciones de proceso德半导体。Los sistemas EZENITH son Los únicos que often lo que se indica continuación:

  • Gestión de gas de escape & y vacío centrada en el process
  • Integración complete de los components
  • Soporte de cada función conuna potente interz de control integra
  • Diseñado para hacer unso efficient del space;Ahorra的支持率为70%
  • Distribución, regulación y supervisión de los servicios de manfitamente interna, lo que reduce el uso de los servicios públicos en más de un 60%, además de garantizar un functionamiento conconfiable y problem。

通过对eliminación气体的处理,aún no estlistto para ejacar su process, Solo con una bomb。tendrque连接器el tubo de escape de la bomba,连接器los calentadores de la tubería cuando sea necesario, hacer功能连接器líneas de agua, purga y elactricica y, luego,准备今天的las señales de control。tamamicassen deberen en tentenen en cuenta el double ciere, la detección de fugas de gas y cómo de desa实现了fugas despasen deberen de manimimen de la herramen的修订。今天的estas可以用costarán时间来代替dinero。解决问题的办法是解决问题,解决问题的办法是解决问题的办法是解决问题的办法。

新系统集成与están prediseñados para la mayoría de los processos de半导体。气体排放的日历系统están配置和温度正确,最大限度地减少损失成本,最大限度地提高时间和功能。Colocamos puertos de verificación de fugas y válvulas de computerta, cudo son required。要做到这一点,系统是必要的,系统是重要的,系统是重要的,系统是必要的,系统是必要的。分配的天然气,水电,电力通过las señales控制,并在必要的情况下,通过系统列表para usar。