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Analizzatore di gas di processo iTrap®

Uno Strumento在piu' per l'analisi e la determinazione delle anomalie dei processi semi - duttori

爱德华兹过程气体分析仪iTrap的图像

iTrap®è uno光谱测量di masa a transformata di傅里叶变换与传感器传感器。Si tratta di uno strumento ideale per l'analisi di process, e il controllo dei process in line。Può我们在利用环境,忽视环境,研究和生产。iTrap同意在modo可修饰的le più piccole跟踪di sottoprodotti di reazione o di contrazione i 'efficacia degli agenti pulenti o stato della camera。Uno光谱di massa viene misurato准节奏真实,ed è可能的tracciare piccole quantità di molecular all'interno della camera di processo。iTrap è uno强大的力量,在我的脑海里,在我的脑海里,在我的脑海里,在我的脑海里,在我的脑海里,在我的脑海里,在我的脑海里,在我的脑海里。

Vantaggi

iTrap di Edwards说服grazie a fattori quali: 

  • Velocità | misurazioni可能在节拍真实,光谱完成在< 0,5秒
  • Sensibilità |米苏azione di concentrazioni minime 
  • comptezza |可积在una相机di过程。接口软件标准化predisposta per prodotti chimici esterni. 
  • 腐蚀抗性|表面惰性,神圣不可侵犯。抵抗一个H2, Cl, F和altre sostanze chimiche攻击 

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