一、二次真空泵配套

错误选择的后果可能是严重的，从扩散泵“熄火”(和严重的油污染)到涡轮分子泵过热。

下面用常见的例子描述这些要求。

一次真空泵(PP)是一种排气到大气压的真空泵。这些泵包括油封旋片泵、膜片泵、涡旋泵、多级根泵、活塞泵、螺杆泵和液环泵。

二级泵(SP)在运行前需要由一级泵(有时是其他二级泵)初始排气到所需的压力。例如，油扩散泵(ODP)，涡轮分子泵(TMP)，蒸汽助推器(VB)，机械助推器(MB)，离子吸气泵(IGP)，钛升华泵(TSP)，不可蒸发吸气泵(NEG)，低温，分子阻力和再生泵。

在某些情况下，为了连续运行，需要配套的背泵;这是ODP, TMP和VB泵的情况。

要匹配PP和SP，需要考虑以下几点:

• PP泵入到SP“接管”泵入过程的初始时间。如果SP与PP同时启动，并且必须在给定的时间内达到给定的压力，以防止SP“计时”失效，这一点尤其重要。
• 当SP开始时，气体流量和压力峰值的初始“激增”。下图说明了这一点nXDS15i滚动PP和an是什么nEXT300D为次TMP;产量的峰值对应于压力的上升，当SP (nEXT300D)“接管”抽水。

这将使PP相应增加~1.5 mbar，如下图所示:

• 不应超过最大背压(MBP) /临界背压(CBP)。这就限制了最大气体流量。PP必须在要求的背压下有足够的速度性能，而不是假设PP的峰值/名义速度。
• MBP值可以由制造商报价为零流量，而不是有流量。
• 清洁度(是否需要干泵?)
• PP需要与SP集成吗?
• PP的典型残余气氛是什么-特别是当与tmp结合压缩时?这很重要，因为例如，对于H, TMP的压缩比相对较低₂可能会限制其可达到的极限压力，如果H₂背泵的局部压力很大。