您的浏览器不受支持

Выиспользуетебраузер,которыймыбольшенеподдерживаем。Чтобыпродолжитьнавигациюпонашемувеб——сайту,выберитеодинизследующихподдерживаемыхбраузеров。

Сухие насосы дл произ одства полупроводников

Мировойстандартвобластиинновацийдлявакуумныхсистем

Высокаяэкологичностьинадежностьприсниженнойстоимостивладения

ИспользованиесухихнасосовiXMснизкимэнергопотреблениемпозволяетсущественнооптимизироватьтехнологическийпроцессзасчетувеличениявременибесперебойнойработы,снижениявоздействиянаокружающуюсредуисокращениязатратприэксплуатациикритическиважногооборудования。

  • ЭнергоэффективныймеханизмРутсапозволяетснизитьпотребляемуюмощностьпочтина60%,уменьшаетвредноевоздействиенаокружающуюсредуиснижаетстоимостьвладения
  • Благодарягазовомууплотнениюиболееточномутепловомурасчетукоррозионнаястойкостьновыхнасосоввчетыреразавыше,чемуизделийпредыдущихсерий
  • Улучшенныевозможностиработыспорошковымиматериаламиобеспечиваютмаксимальнуюнадежностьипродлеваютсрокслужбынасосов。используемыхдлямногослойноготравления,атакжепозволяютснизитьпотреблениеэнергиивпроцессехимическогоосажденияизгазовойфазы(CVD)
  • Компактнаяилегкаяконструкциявсочетаниисисключительнонизкимуровнемшумаивибрацииобеспечиваетбольшуюуниверсальностьприменения
  • ВариантыисполнениясприменениемтехнологииXcede,обеспечивающейповышеннуюкоррозионнуюстойкость。

СухиенасосыiXHустанавливаютновыестандартытехнологическихвозможностей,надежностиисокращениястоимостивладениядляоборудования,используемоговтяжелыхусловиях。

  • Широкийдиапазонрабочихтемпературпозволяетоптимизироватьработунасоса,чтобысократитьосаждениепобочныхпродуктовизконденсатаиматериалапокрытия
  • СухиенасосыiXH Mk2型отличаютсяещебольшимсрокомслужбывсамыхжесткихусловиях,аихприменениезначительноповышаетэффективностьиспользованияэнергии
  • Инновационнаятехнологияуплотнениянасосапозволяетувеличитьпродолжительностьтехнологическогопроцессаиснизитьвероятностьутечек
  • ВариантыисполнениясприменениемтехнологииXcede,обеспечивающейповышеннуюкоррозионнуюстойкость。

Компактныесухиенасос港口拥有iXLсынизкимэнергопотреблениемдляоблегченныхрежимовработы,напримерприобработкеполупроводниковыхпластин,впроцессефизическогоосажденияизгазовойфазы(PVD),атакжедляприменениявметрологии。

  • Быстраяоткачкакамерыичрезвычайнонизкоеэнергопотребление
  • СухиенасосыiXL600 (N)иiXL1000 (N) -одниизсамыхкомпактныхималошумныхнасосовдляоблегченныхрежимовработы
  • НасосыiXL600MиiXL1000Mизготовленыиззакаленнойсталииспециальноразработаныдлятравлениядиэлектриков(оксидов)идругиханалогичныхзадач
  • СухиенасосыiXL600 (N)иiXL1000 (N)отличаютсявысокойскоростьюоткачкиинизкимэнергопотреблением
  • iXL900R——самыйбыстрыйизнасосов,предназначенныхдляиспользованиясзагрузочнымишлюзамиприпроизводствеплоскихдисплеев(FPD)。Использованиеэтогоновогонасосапозволяетклиентамзначительноснизитьэксплуатационныерасходыисократитьпродолжительностьмонтажа。Этотнасосособеннохорошоподходитдлякамерсзагрузочнымшлюзомсамыхбольшихразмеров,которыеиспользуютсявпроцессефизическогоосажденияизгазовойфазы(PVD)。,Крометогонакаждуюкамерупотребуетсяменьшееколичествонасосов。Преимущества-сокращениевременимонтаж,аснижениеэнергопотребления,уменьшениерасходовнасозданиесистемыиеетехническоеобслуживание。
  • Функция绿色模式позволяетснизитьпотреблениеэнергиивхолостомрежиме,темсамымулучшаяэкологическиепоказателипредприятияиоптимизируяегорасходы