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Residual-gas-analysers-fullsize

爱德华兹RGA残留气体分析仪

我们的RGA包括两个变体:都具有简单有效的操作,确保高性能和效率

对于那些想要快照视图的人来说,这些设备有一个独特的机载显示器,可以向您显示主要气体类型以及系统的总体压力,而无需通过笔记本电脑连接。

PRA主气体分析仪

提供高端性能和可访问性的完美平衡。

  • 可提供四种变体,以满足您的过程需求,无论您只是需要一个基本的模型或具有更高灵敏度/范围的东西。威兼希尔 中国
  • PRA是分析您的流程的完美起点。

WRA大范围残留气威兼希尔 中国体分析仪

顶级车型,市场领先的规格。

  • 可提供1-200或1-300 amu两种变体,您可以测量工艺过程中的各种气体/副产物。威兼希尔 中国
  • 与PRA相比,这与更高的灵敏度相匹配,可以从您的测量中获得更高的精度。

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总压力测量

全程控制

双丝

最高的可靠性和正常运行时间

在单元显示上

在没有电脑的情况下进行基本测量

客户可更换部件
德加功能
离子源和电磁保护
RGAs对气体及其成分进行分析,这是需要的:

  • 泄漏检测和识别
  • 发现和识别污染物
  • 验证气体纯度
  • 产品/过程质量保证
  • 过程和设备诊断和控制
  • 优化工艺性能和产量

广泛应用的完美解决方案:威兼希尔 中国

  • 半导体工艺
  • 薄膜和显示器
  • 真空热处理
  • 真空冷冻干燥
  • 研发
  • 高能物理学