Сорбционныенасосыиспользуютсядлясозданиявысокого(高压)исверхвысокоговакуумав(特高压)различныхобластяхприменения——отпортативныхмасс-спектрометровдокрупномасштабныхускорителейчастиц。Онимогутсоздаватьмаксимальноеразрежениеприминимальныхзатратах。
Ионныенасосы,такжеизвестныекакионно——сорбционныеилигеттерно——ионны,епредставляютсобойнасосы,вкоторыхгазыионизируютсяспомощьюанодаикатода。Прибомбардировкеионамипроисходитраспылениехимическиактивныхматериаловкатода,чтовызываетхимическуюреакцию,врезультатекоторойионизированныегазыпревращаютсявтвердыесоединения。Этисоединенияневызываютизмененийдавленияввакуумнойсистемеиостаютсявионномнасосе。Ионные насосы мо о о о отат в д а апазон н о о 105до10-12年мба ар о о о о а，2 до 1200 л/с (дл и азота)。
Титановый ионн и насос
Принципработыэтихнасосовзаключаетсявнагреваниититановойнитиипоследующейсублимациимолекултитананаповерхности(преобразованииизтвердойвгазовуюфазу)。Послеэтогосублимированныемолекулытитанавступаютвреакциюсхимическиактивнымигазами,такимикаккислородиазот,врезультатечегоотнихотделяетсяводород。Титановыесублимационныенасосымогутработатьвдиапазонеот105до10-12年мбариобеспечиваютскоростьоткачкисвыш10 000лес(дляводорода)。
Титановый со блима с ион ион
Содержатхимическиактивныеметаллы,впрессованныевтвердыеподложкиилиспеченныесдисками。Практикапоказывает,чтодлясистемвысокогоисверхвысокоговакуумалучшевсегоподходитопределенноесочетаниециркония,ванадияижелеза。СкоростьипроизводительностьнасосаNEGзависитотколичестваиспользуемогоматериала,норабочийдиапазонскоростисоставляет,какправило,от55дло412 /сапроизводительности——от630д3600оторрсл。ПосленасыщенияNEGгазамиреактивациюможнопроизвестибезсбросаватмосферу。
Картридж neg n200
СовременныйконтроллерNEGвкомпактномкорпусеотличаетсяоптимальнымсоотношениемпроизводительностикзатратамиулучшеннойфункциональностьюиупрощаетсозданиесверхвысокоговакуумадлявашихзадач。
Контроллеры数字spc-negобеспечиваютработунасосовNEGсвысокойскоростьюоткачкиводорода,которыйявляетсянаиболееважнымтипомгаза,используемогоприсозданиисверхвысокоговакуума。ВотличиеотстандартныхисточниковпитанияSPC-NEGнетолькоподаеттоквнагреватель底片,ноииспользуетпредварительнозаданныепроцедурысопределеннымипараметрами,такимикактекущиезначенияилипродолжительностьнагрева。ЭтизначениявыбираютсяSPC-NEGвзависимостиотподключенногонасоса底片。Процедурыможнонастраиватьдляэкспериментовсразличнымипараметрами。Надежнаяработадостигаетсязасчетсистемыуправлениясоткрытымконтуромизащитыотперегрузки。
Большойсенсорныйэкранобеспечиваетпростотуиспользования。Крометого,интерфей以太网спозволяетосуществлятьдистанционноеуправление。
Контроллер数字spc-neg
