高通量扩散泵

爱德华兹HT和EO扩散泵提供最高的吞吐量(压力乘以泵速)的任何可比尺寸的泵,使它们成为涉及大量气体的工业过程的理想选择。这些扩散泵可用于具有高临界背压和功能挡板的工艺,以确保回流最小化。