nHT16
ANSI
ISO
输入连接
16˝ANSI
500年ISO-K
支持连接
3˝ANSI
100年ISO-K
抽速*
l / s
6800年
氮< 104mbar
氩气<104mbar
6350年
抽速
9500年
氦< 104mbar
气体的吞吐量
mbar l / s
11
工作范围威兼希尔 中国
mbar
101到107
极限压力(Edwards 704)
< 5 × 107
临界背压(爱德华兹704)
5 × 101
加热功率
千瓦
7.2
加热墨盒
数量
6
预热期
最小值
< 15
重量
公斤
185
推荐的油
爱德华兹704年
石油
l
3.5 - 4.5
推荐保持泵
E2M40
推荐的后备泵
E2M175, EDS200