nHT20
ANSI
ISO
输入连接
20˝ANSI
630年ISO-K
支持连接
4˝ANSI
160年ISO-K
抽速*
l / s
10,000
氮< 104mbar
氩气<104mbar
9000年
抽速
17000年
氦< 104mbar
气体的吞吐量
mbar l / s
17
工作范围威兼希尔 中国
mbar
101到107
极限压力(Edwards 704)
< 5 × 107
临界背压(爱德华兹704)
5 × 101
加热功率
千瓦
10.8
加热墨盒
数量
9
预热期
最小值
< 25
重量
公斤
210
推荐的油
爱德华兹704年
石油
l
5.5 - 7.0
推荐保持泵
E2M80
推荐的后备泵
E2M175, EDS200