来自Edwards的Atlas™:一系列燃烧气体减威兼希尔 中国排解决方案，为半导体制造商提供降低运营成本和增强易用性的解决方案。
与上一代气体减排设备相比，Atlas™系统具有较低的燃料消耗，并采用了经过验证的Alzeta™内燃式燃烧室技术，极大地降低了拥有成本。1至6个进气道，包括温度管理系统(TMS)，可达到高达600 slm的流量容量，并提供更强的易用性和更高效的维护。
Spectra系列是一种具有成本效益，可靠，高性能的废气处理解决方案，适用于最新一代平板显示器(FPD)，太阳能和MOCVD制造工艺。
爱德华兹为半导体加工提供了一系列低威兼希尔 中国成本，使用点干式消减系统。每个系统都使用了为GRC(气体反应器柱)系列开发的独特的热床反应器技术。威兼希尔 中国
爱德华兹提供(温度管理系统)涉及可冷凝固体过程。TMS确保这些化合物在进入消减装置之前保持挥发性。TMS的设计目的是将前线和泵排气线加热到消减装置的入口。模制高表面积加热器最大限度地与管道接触，设计用于保持管道温度在90°至150°C之间。
爱德华兹排气调节威兼希尔 中国产品系列包括用于硅烷自氧化的燃烧调节系统(PCS)，用于LPCVD氮化物工艺的水冷排气陷阱(WCT)和用于额外粉末去除的湿式静电除尘器(WESP)。