Максимальнаяработоспособностьвспомогательногооборудования
Современныймирбыстроменяется,имыпонимаем,какважнадлянашихклиентовмаксимальнаяпроизводительность。Мыпредлагаемсамыепередовыетехнологииинепрерывноработаемнадснижениемпроизводственныхрисковиуровнявоздействиянаокружающуюсреду。
Эксперты爱德华兹считают,чтолучшимрешениемдляклиентовявляетсякомплексныйподход。Опираясьнаобширныйопыт,мыпредлагаеминтегрированныесистемы,которыеобеспечиваютсозданиевакуумаиочисткуотработавшихгазов。Инновационныеинтегрированныерешенияобеспечиваютнашимклиентамстабильностькачествапродукциииуслуг,чтогарантируетвысокуюэффективность,безопасностьиэкологичностьпроизводства。
ИнновационныйметодлитографиисиспользованиемпредельнойУФ——областиспектра(EUVLилиEUV)——этотехнологияследующегопоколения,которуюведущиепроизводителиполупроводниковыхчиповпланируютиспользоватьвпроизводствесамыхпередовыхполупроводниковыхкомпонентов。Этатехнологияимеетисторическоезначени,етаккакподтверждаетсправедливостьзаконаМура。Самойактуальнойпроблемойдляметодаэкстремальногоультрафиолетаявляетсявремябезотказнойработыоборудования。爱德华兹пКомпанияредлагаетполностьюинтегрированноерешениедлявсегокомплексавспомогательногооборудования,чтообеспечитзначительныепреимуществаприпроизводствеметодомлитографиисиспользованиемэкстремальногоультрафиолета。Вотужеболее10летспециалистынашейкомпаниизанимаютсяпроектированиемсистем,обеспечивающихнадежностьпроцессовEUVзасчетбесперебойнойработывспомогательногооборудования。Самыеинновационныетехнологическиерешения爱德华兹ивозможностисистематизациинацеленынаувеличениепродолжительностипроцессаEUVиувеличениевыходапродукциивконтролируемыхбезопасныхусловиях。
Четкое понимание существующих по блем
Обширныймировойопы,тобеспечивающийпреимуществадлянашихклиентов
Увеличениеобъемапроизводстванетребуетиспользованияболеемощногооборудования
Переработка и по о от о о о о о о ол зовани
Укомпании爱德华兹естьвозможностииопыт,чтобыадаптироватьоборудованиевсоответствиистребованиямиклиентов。Удвоениеобъемовпроизводстваневлечетзасобойнеобходимостидвукратногоростапроизводственнойкомпании,умелоиспользующейсистемы,числаспециалистовпообслуживаниюитехническойподдержкеклиентов,атакжерасширениямеждународногоприсутствия
EZENITH——этоширокийвыборинтегрированныхсистемдлясозданиявакуумаиочисткиотработавшихгазовприпроизводствеполупроводников。СистемыEZENITHобеспечиваютследующиеуникальныепреимущества:
Длявыполнениятехнологическогопроцессанедостаточноналичиянасосаиустройствадляочисткиотработавшихгазов。Необходимотакжеподключитьсяквыпускномупатрубкунасоса,подсоединитьподогревателитрубопровода(принеобходимости),обеспечитьработоспособностьсетейподачиводы,электропитанияисистемыпродувки,апослеэтогонастроитьвсенеобходимыеуправляющиесигналы。Следуетпредусмотретьналичиедвойнойоболочкиисистемытечеискания,принеобходимости——выполнитьпроверкунагерметичностьпослетехническогообслуживанияоборудования。Организацияподобныхработтребуетвременныхифинансовыхзатрат。Мыхорошопредставляемсебевсеэтипроблемы,поэтомуразработалиинтегрированныерешения,точносоответствующиепараметрамконкретныхтехнологическихпроцессов。
Нашиинтегрированныесистемыужеадаптированыдлябольшинстватехнологическихпроцессоввпроизводствеполупроводников。Нагревателиотработавшихгазовнастраиваютсядляихнагревадонужнойтемпературысцельюминимизациизатратимаксимальногоувеличенияпродолжительностибесперебойноговыполненияпроцесса。Смотровыеотверстиядляконтроляутечекишаберыустанавливаютсявтехместах,гдеонинеобходимы。Всясистемазаключенавоболочку,иклиентунеобходимотолькообеспечитьподключениекинженернымсетям。Всистемепредусмотренысредствараспределениягаза,воды,электроэнергииисигналовуправлениявточномсоответствииспотребностями,поэтомуонаполностьюготовакиспользованию。
