半导体干泵

iXL干式泵

iXL干式泵

iXL120是一款紧凑、低能耗、110立方米/小时的干泵,用于硅片处理和其他清洁负荷应用。它能以极低的能耗快速泵降负载锁室。

iXL120是用于负载锁定和清洁应用的最小和最轻的泵之一。它的低振动和低噪音水平使其非常适合安装在工具上或在晶圆厂的华夫地板内,有助于节省宝贵的晶圆厂地板空间。绿色模式允许在空闲期间减少公用事业的使用,降低公用事业成本,并有助于拯救环境。

iH干式泵

iH干式泵

爱德华兹iH干式泵是一种高可靠性、低成本的泵,适用于存在颗粒、可凝物或腐蚀性副产物的困难过程。iH系列有一个五级基础泵与创新的悬臂转子,爪和根设计,改善粉尘处理和降低排气噪音。此外,iH系列泵还配有单级机械增压泵和全封闭水冷电机。

EPX工具上高真空泵

EPX工具上高真空泵

Edwards EPX高真空干泵提供更轻、更小的工具泵,只需要1.4 kW的功率。EPX系列泵采用独特的专利单轴再生/Holweck级机构,能够从大气泵到极限压力,没有过程污染的风险。

iGX干泵

iGX干泵

Edwards iGX干泵提供了一种多功能真空泵平台,具有可靠的性能,适用于清洁到中等负荷的硅和化合物半导体应用。iGX泵体积小巧,振动低,具有很大的灵活性,可用于工具内、近距离或远程安装,从而确保节省空间,最终降低总体拥有成本。iGX泵还提供以太网连接和其他网络选项。

GX干式泵

GX干式泵

爱德华兹GX干式真空泵为大修之间的零维护设定了新的标准。效率的提高降低了拥有成本,并在整个压力范围内提供连续的泵送任务。威兼希尔 中国GX干泵包括以太网连接,允许通过网页查看关键数据,以及一套全面的网络选项,以确保泵的持续可用性。